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SAM (Scanning Acoustic Microscope)又被稱作SAT (Scanning Acoustic Tomography), 同X-Ray一樣, 也是半導體行業

常用的非接觸性檢測工具之一, 可對IC封裝內部結構進行非破壞性檢測, 有效檢出因水氣或熱能所造成的各種破壞如﹕

? 晶元面脫層

? 錫球、晶元或填膠中的裂縫

? 封裝材料內部的氣孔

? 各種孔洞如晶元接合面、錫球、填膠等處的孔洞

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.(2011年11月5日)................................................................................